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电子科技大学2022年5月政府采购意向-扫描电子显微镜 详细情况
2022年03月31日 14:48 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 扫描电子显微镜 | |
| 项目所在采购意向： | 电子科技大学2022年5月政府采购意向 |
| 采购单位： | 电子科技大学 |
| 采购项目名称： | 扫描电子显微镜 |
| 预算金额： | 390.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100305-电子光学及离子光学仪器 |
| 采购需求概况 ： | 具备场发射电子发射枪，电子色散范围在0.2-1eV；电子加速电压范围为100V-30kV；电子着陆电压范围20eV-30keV；电子束流范围1pA-80nA；图像放大倍数20-1000000倍连续可调；具备电子光路自动对中功能，实现电子束、光阑、像散、对焦、亮度对比度等的自动调整；配备二次电子和背散射电子探测器，其中二次电子图像分辨率在加速电压1kV时优于0.8nm；在15kV时优于0.6nm；可对半导体、绝缘体等材料和器件进行良好的成像；配备多功能5轴样品台，xy方向行程≥110mm，倾转角度范围-15°至+90°；配备6英寸及以上的晶圆样品台/夹，配备图像连续采集和自动拼接功能，可对6英寸以上晶圆进行变倍率大面积无缝连续采图；配备能谱分析仪，探头面积≥170mm2；能谱仪分辨能力符合ISO 15632:2012标准 |
| 预计采购时间： | 2022-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。