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厦门大学2022年12月政府采购意向-电感耦合等离子体增强原子层沉积系统 详细情况
2022年11月03日 18:00 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 电感耦合等离子体增强原子层沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 厦门大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 厦门大学 |
| 采购项目名称： | 电感耦合等离子体增强原子层沉积系统 |
| 预算金额： | 465.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100503工艺试验机 |
| 采购需求概况 ： | 电感耦合等离子体增强原子层沉积系统，一台，用于八英寸及以下电子电镀阻挡层和种子层薄膜材料的生长。具体要求详见采购文件。（包括供货，安装，调试，验收合格所需时间）。具体事宜由成交供应商按采购人指定地点及时间安排要求执行。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。