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清华大学2022年12月政府采购意向-无掩膜曝光机 详细情况
2022年11月30日 18:39 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 无掩膜曝光机 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 无掩膜曝光机 |
| 预算金额： | 350.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100699其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | 拟采购无掩膜曝光机1台，技术参数需求：
曝光波长小于450nm
分辨率小于1um
套刻对准精度优于500nm
重复定位精度优于100nm
最大曝光面积不小于200*200mm²
最小曝光面积不大于5*5mm²
支持灰度曝光模式
支持扫描式和矢量曝光模式
详见可行性报告 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。