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中山大学2022年11至12月政府采购意向-新型二维原子晶体生长与退火系统（材料生长模块） 详细情况
2022年10月13日 10:55 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 新型二维原子晶体生长与退火系统（材料生长模块） | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2022年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 新型二维原子晶体生长与退火系统（材料生长模块） |
| 预算金额： | 97.200000万元(人民币) |
| 采购品目： | A032103电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 新型二维原子晶体生长与退火系统1套。
主要技术指标：
PECVD系统:
1. 炉管尺寸：3.14" (80mm) OD *2.83" ID *71'' L
2. 加热区参数：两块30段可编程控温仪表；两个单独控制的加热区每个加热区长度200mm；恒温区长度250mm（两个温区设置相同温度）
3. 等离子发射源：
输出功率：5-500W±1%；射频频率：13.56MHz±0.005%；反射功率：最大 200W；匹配：自动；射频接口：50 Ω, N-type；电源：AC 208-240V, 50/60Hz
4. 管内真空度：10E-2 Torr
真空快速退火炉：
1. 6英寸退火炉
2. 气体进出通路：N2气
3. 配置24个红外加热灯，可选择上表面与下表面进行独立加热
4. 温度范围：400~1000 °C；>400 °C，加热速率200 K/min
5. 温度范围<1000 °C，加热速率150 K/sec；
6. 温度范围1000 ~ 1200 °C，加热速率100 K/sec
交付时间：合同签订或收到发货通知30天内。
售后服务要求：3年质保期，对所提供的货物在质保期内，因产品质量而导致的缺陷，必须免费提供保修、包换、包退服务。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。