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中国科学院微电子研究所2025年3至12月政府采购意向-激光发生装置 详细情况
2025年01月26日 16:27 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 激光发生装置 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院微电子研究所2025年3至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 激光发生装置 |
| 预算金额： | 130.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330500电工、电子生产设备零部件 |
| 采购需求概况 ： | 深紫外光刻机设备所需配件，设备各项技术参数及指标达到设备SPEC，更换该备件后，保证机台正常运行，且性能指标达到验收要求。验收方式为现场验收设备状态，并由供应商提供维修保养报告，对报告内容进行验收。验收时间为2025年4月，所换备件为全新件，需质保12个月或激发70亿次，以先到为准。 |
| 预计采购时间： | 2025-04 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。