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zycgr240415012025年4至12月政府采购意向-有机金属化学气相沉积 详细情况
2025年04月16日 21:26 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 有机金属化学气相沉积 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr240415012025年4至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr24041501 |
| 采购项目名称： | 有机金属化学气相沉积 |
| 预算金额： | 2000.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02062002电气物理设备 |
| 采购需求概况 ： | 1台
垂直式进气方式；
样品尺寸满足30*2，6*4，3*6，1*8，1*12：
采用直流电源加热，最高加热温度1200℃，温度偏差小于0.2℃；
包含4路硫源MO源，4路钼源MO源和4路气态源；
材料种类：p型WSe2；
最高工艺温度：1200℃；
外延尺寸：兼容8英寸晶圆。 |
| 预计采购时间： | 2025-05 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。