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北京大学2024年11月政府采购意向-场发射电镜电子束曝光系统 详细情况

2024年09月27日 16:46 来源: 中国政府采购网 打印

场发射电镜电子束曝光系统
项目所在采购意向: 北京大学2024年11月政府采购意向
采购单位: 北京大学
采购项目名称: 场发射电镜电子束曝光系统
预算金额: 290.000000万元(人民币)
采购品目:
A02062002电气物理设备
采购需求概况 :
该系统主要用于通过电子束直写曝光,在样品表面制备微纳米结构,用于量子器件的制备和研发,同时,可以实现微纳结构的高分辨成像表征,支撑器件芯片研制和工艺研发。
预计采购时间: 2024-11
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。