当前位置：采购意向项目详情
中国科学院微电子研究所2025年3至6月政府采购意向-光学和光刻胶物理仿真平台 详细情况
2025年02月08日 17:42 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 光学和光刻胶物理仿真平台 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院微电子研究所2025年3至6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 光学和光刻胶物理仿真平台 |
| 预算金额： | 125.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A08060302-支撑软件 |
| 采购需求概况 ： | 采购标的名称：光学和光刻胶物理仿真平台
采购标的需实现的主要功能：1.可实现光刻光学物理过程的严格仿真，覆盖光学光刻中掩模三维效应、硅片三维效应、物理像差等参数的严格建模；2.可实现化学放大型光刻胶的曝光、烘烤、显影过程中的物理及化学效应建模，实现驻波效应、随机效应等的准确分析。
采购标的数量：1套
采购标的需满足的质量：平台能光刻工艺中典型的版图及光刻胶进行物理建模仿真，质量要求满足现有使用标准。 |
| 预计采购时间： | 2025-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。