A02100304光学测试仪器

椭偏仪1套，该设备用于测量各种半导体、介质、金属薄膜的折射率、吸收系数和色散曲线特征。 主要技术要求为 ： 1. 测量光谱范围：200 nm~1700 nm，全光谱所有数据点同时测量，准直光束； 2. 自动调节入射角度，45度到90度，水平样品台； 3. 自动Z轴高度； 4. 自动俯仰样品台； 5. 小光斑测量最小光斑直径300微米； 6. 自动样品台，二维扫描范围不小于200 mm x 200 mm； 7. Z轴调节对准相机，3x放大，视场范围不小于2 X 1.5 mm，工具距离不小于70 mm，数字变倍可达8倍； 8. 软件包括自动测量控制和建模分析模块，数据库包括主要的化合物半导体和介质以及金属等。 交付时间：12个月内； 交付地点：广州市大学城外环东路132号 中山大学东校园。