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中国科学院半导体研究所2022年3至12月政府采购意向-扫描电子显微镜 详细情况
2022年02月14日 16:30 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 扫描电子显微镜 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院半导体研究所2022年3至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院半导体研究所 |
| 采购项目名称： | 扫描电子显微镜 |
| 预算金额： | 530.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A033499-其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 用于观察外延材料表面的微观形貌，也用于观察器件制作过程中刻蚀图形的微观形貌和沉积的金属薄膜的微观形貌，最小尺寸达到nm量级。同时，配合EDX侦测器可以评测样品表面微区的元素成分。 |
| 预计采购时间： | 2022-09 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。