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中山大学2022年11至12月政府采购意向-电子与信息工程学院磷化铟刻蚀机采购项目 详细情况
2022年10月13日 10:55 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 电子与信息工程学院磷化铟刻蚀机采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2022年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 电子与信息工程学院磷化铟刻蚀机采购项目 |
| 预算金额： | 380.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A032103电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 磷化铟刻蚀机蚀机， 数量：1套。
用途：刻蚀磷化铟，用于制备磷化铟基有源器件。
技术要求：
1、支持3inch Wafer以及向下兼容
2、均匀性优于5%
3、配有loadlock自动进样
4、腔体真空度低于1*10-6 Torr、工艺腔体漏率小于1mTorr/min
5、InP刻蚀速率:100nm~2um/min
6、对于Hardmask（SiO2/SiNx）选择比>15:1;角度：90 ±2o；
7、重复性（run-run）误差<±5%、。
交付时间要求：合同签订后10个月内；
交付地点要求: 广州海关
售后服务要求：在质保期内，24小时内电话响应，48小时内到达现场。包含装机服务，和对用户工程师提供针对设备原理、基本操作、日常保养和简单故障排除的现场培训。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。