A02109900-其他仪器仪表

本项目购置的实验教学设备涵盖光子芯片的加工制造和测试表征工艺平台，学生可以接受半导体光电器件的设计和制作训练，学习半导体光芯片器件的设计及制造方法，掌握光电核心器件原理和研制方法，具备半导体光子芯片设计和加工制造能力。本项目拟购置图形化光刻掩膜机1套、化学气相沉积镀膜机1套、反应离子刻蚀机1套、膜厚和形貌测试仪1套、金属和硅多靶磁控溅射镀膜机1套、大芯径保偏光纤处理平台1套、无掩膜光刻机1套。所有设备要求部署、安装到位，完成调测至正常工作。提供7*24小时电话响应，提供平台设备维护服务，保证平台正常教学。质保期五年；供货周期：90日；付款方式：合同签订后甲方收到乙方提供的符合甲方财务要求的全额发票后以银行转账的方式支付至乙方账户合同总价款的 80 %，剩余 20 %在甲方验收合格后向乙方支付剩余尾款。