当前位置：采购意向项目详情
中国科学院微电子研究所2026年6月政府采购意向-离子注入机 详细情况
2026年02月26日 10:02 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 离子注入机 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院微电子研究所2026年6月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院微电子研究所 |
| 采购项目名称： | 离子注入机 |
| 预算金额： | 1700.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02000000-设备_A02330000-电工、电子生产设备_A02330300-电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 设备用于W波段GaN器件材料制备中的Smart Cut工艺。Smart Cut技术源于SOI晶圆制备。其技术特点是向待转移晶圆表面进行离子注入。通过调节注入能量、剂量，调整注入结深和后续薄膜剥离的退火温度从而实现特定厚度膜层的晶圆级剥离。本项目技术路线的N极性GaN倒序外延衬底，拟采用Ga面外延通过晶圆键合实现外延层倒序排列再通过Smart Cut工艺剥离生长衬底完成材料制备。因此需要具备实现H离子注入的大束流离子注入机 |
| 预计采购时间： | 2026-06 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。