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东北大学2022年11月政府采购意向-面向国家“卡脖子”技术需求的工业芯片设计与制造全流程技术平台--金属有机化学气相沉积(MOCVD) 详细情况
2022年11月03日 10:50 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 面向国家“卡脖子”技术需求的工业芯片设计与制造全流程技术平台--金属有机化学气相沉积(MOCVD) | |
| 项目所在采购意向： | 东北大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 东北大学 |
| 采购项目名称： | 面向国家“卡脖子”技术需求的工业芯片设计与制造全流程技术平台--金属有机化学气相沉积(MOCVD) |
| 预算金额： | 1100.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A033412教学专用仪器 |
| 采购需求概况 ： | 可用来生长GaN, AlN, AlGaN 等
生长GaN：
生长速率:≥2μm/h
晶圆内的厚度均匀性：σ≤2%
晶圆到晶圆的厚度均匀性：σ≤2%
@RT背景掺杂水平：≤1×1017cm-3
@RT流动性（硅掺杂n<1017cm-3）：≥350cm2/Vs
XRD FWHM 002/102：250/400Arcsec
生长ALN（3μm厚）：
20*20um 区域的 RMS 表面粗糙度：≤4nm
生长速率:≥3μm/h
晶圆内的厚度均匀性：σ≤2%
晶圆到晶圆的厚度均匀性：σ≤2%
XRD FWHM 002/102：250/400Arcsec。
具体以采购文件为准。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。