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中国科学院光电技术研究所2023年3至4月政府采购意向-12寸场发射扫描电子显微镜 详细情况

2023年02月21日 15:37 来源: 中国政府采购网 打印

12寸场发射扫描电子显微镜
项目所在采购意向: 中国科学院光电技术研究所2023年3至4月政府采购意向
采购单位: 中国科学院光电技术研究所
采购项目名称: 12寸场发射扫描电子显微镜
预算金额: 500.000000万元(人民币)
采购品目:
A02100699-其他试验仪器及装置
采购需求概况 :
12寸场发射扫描电子显微镜是对12寸JYGK图形以及其它后续处理图形进行表征的必要设备。用于12寸JY以及其它实验样品结构的快速测量,对特殊样品例如硅片截面、切片等进行分析。此外,还需要在此基础上加装电子束控制模块,以满足表层成像工艺测试。
预计采购时间: 2023-03
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。