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zycgr210708012025年12月政府采购意向-电子束曝光系统 详细情况
2025年08月13日 18:01 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 电子束曝光系统 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210708012025年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21070801 |
| 采购项目名称： | 电子束曝光系统 |
| 预算金额： | 500.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02339900其他电工、电子生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 拟采购的电子束曝光系统包括一台电子扫描显微镜以及一台配套的图形发生器，该系统应图形发生器应能生成用户所需的曝光图案，结合扫描电子显微镜能够在衬底上曝光出相对应的微纳图案，且最小曝光精度应能实现不小于30nm宽的纳米线 |
| 预计采购时间： | 2025-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。