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北京大学2026年9月政府采购意向-PECVD 详细情况
2026年07月14日 09:07 来源： 中国政府采购网 【打印】
| PECVD | |
| 项目所在采购意向： | 北京大学2026年9月政府采购意向 |
| 采购单位： | 北京大学 |
| 采购项目名称： | PECVD |
| 预算金额： | 700.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 本设备用于8英寸晶圆表面氧化硅、氮化硅薄膜的快速致密均匀生长，解决工艺过程中不耐受高温的微纳结构低应力介质层、阻挡层、钝化层/绝缘层制备及图形间隙填充、表面包覆与防护难题，支撑先进MEMS芯片研制及工艺研发。 |
| 预计采购时间： | 2026-09 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。