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中国科学院上海光学精密机械研究所2024年10至12月政府采购意向-刻蚀机 详细情况

2024年10月22日 08:26 来源: 中国政府采购网 打印

刻蚀机
项目所在采购意向: 中国科学院上海光学精密机械研究所2024年10至12月政府采购意向
采购单位: 中国科学院上海光学精密机械研究所
采购项目名称: 刻蚀机
预算金额: 220.000000万元(人民币)
采购品目:
A02180600非金属矿物切削加工设备
采购需求概况 :
用于刻蚀石英基片,主要由刻蚀工艺腔体、传片腔、真空系统、工艺气体配送管路和控制系统、电源系统、控制软件等部分组成。
预计采购时间: 2024-10
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。