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浙江大学2022年12至1月政府采购意向-100kV电子束曝光机 详细情况
2022年11月24日 18:12 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 100kV电子束曝光机 | |
| 项目所在采购意向： | 浙江大学2022年12至1月政府采购意向 |
| 采购单位： | 浙江大学 |
| 采购项目名称： | 100kV电子束曝光机 |
| 预算金额： | 1300.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A030808试验专用设备 |
| 采购需求概况 ： | 100kV电子束曝光机 1套，是微纳器件加工中图形化的关键设备，该设备能将现有平台制造精度和套刻精度提升到亚10nm，极大升级微纳平台图案化能力，支撑微纳电磁领域研究探索更底层物理机理，进而对信息感知、信息交互与处理、微纳能量同传等前沿技术研究起到重要支撑作用。该电子束曝光机加速电压在100kV以上，加工的最小结构<8nm，写场套刻精度<5nm，写场拼接偏移量<8nm，最大束流>100nA，可连续改变写场大小，大可至1mm；拥有100MHz的图形发生器，能够实现高速度曝光，支持150mm以上晶圆或光刻板的电子束直写能力。拟购置设备技术指标先进。数量是1套 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。