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复旦大学2024年10月政府采购意向-电子束蒸发台 详细情况
2024年09月20日 19:01 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 电子束蒸发台 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2024年10月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 电子束蒸发台 |
| 预算金额： | 193.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300 电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 子束蒸发台是集成电子束蒸发的物理气相沉积系统，该系统适用于多种材料体系薄膜的制备，如实验室中用于在衬底上生长半导体薄膜以及一些金属电极，如SiO2，ITO，Al，Ni，Ti等，尤其是剥离工艺（lift-off process）。 电子束蒸发系统是半导体器件制备工艺中不可缺少的仪器设备。本项目根据实际科研需求计划采购一台子束蒸发台。 |
| 预计采购时间： | 2024-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。