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清华大学2022年12月政府采购意向-晶圆级薄膜原子层沉积设备 详细情况
2022年11月26日 10:53 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 晶圆级薄膜原子层沉积设备 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 晶圆级薄膜原子层沉积设备 |
| 预算金额： | 105.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100699其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | 拟采购晶圆级薄膜原子层沉积设备一套，主要技术参数：
内外双区域加热生长硅片腔体，双区域可以独立加热，最高基板加热温度：350℃。
最大硅片尺寸：4” (100 mm) 直径 x 0.25” (6.4 mm) 高度。
耐高温抗腐蚀的氟素真空密封圈；
上盖可拆卸，放气时间小于1分钟。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。