A032103电子工业专用生产设备

采购单位：华南理工大学物理与光电学院 项目名称：原子层沉积镀膜系统 申购数量：1台 预算金额：210万元人民币 采购项目情况： 1、主要功能和目标 原子层沉积镀膜系统是先进、高精度的镀膜设备，在宽禁带半导体相关的功率、射频和太赫兹等领域，在探索介质薄膜工艺、提高薄膜质量和提升器件性能等方面都发挥着重要作用。此设备可以很好地满足科研项目的需求，进一步提高学院在基础材料性能的研究水平，具有科研必要性。 2、采购服务 （1）安装、调试和接收 卖方应在买方所在地提供仪器的安装、校验和试运转，其全部要求应符合技术条款要求，并提供用户硬件测试报告及工艺验收报告详细数据。 （2）售后支持 制造商在国内设有常用零部件备品仓库，满足客户及时服务需求；往后对于新的材料，厂家可以提供免费工艺制程的支持服务，并分享相关工艺数据库信息。 （3）技术培训 在用户现场对用户进行至少3天的免费培训。培训内容包括设备的技术原理、操作、数据处理、基本维护等。 （4）保修期 提供1年免费保修，保修期自验收签字之日起计算。在保修期内，所有非人为因素引起的故障及非消耗品损耗，厂家都给与免费维修。 （5）维修响应时间 卖方应在24小时内对用户的服务要求做出响应，如电话沟通不能解决，维修人员应在5个工作日内到达用户现场解决，重大问题或其它无法迅速解决的问题应在一周内解决或提出明确解决方案。 3、采购验收指标 工艺验收指标 Al2O3：TMAH2O 厚度均匀性：热法<1%， （500循环, 8inch Si衬底片）, Stdev/Average x 100%，49 点测量，排除边沿5 mm）；