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西安理工大学2026年02月至2026年03月政府采购意向-直拉硅单晶炉真空系统 详细情况
2026年02月13日 18:16 来源： 陕西省政府采购网 【打印】
| 直拉硅单晶炉真空系统 | |
| 项目所在采购意向： | 西安理工大学2026年02月至2026年03月政府采购意向 |
| 采购单位： | 西安理工大学 |
| 采购项目名称： | 直拉硅单晶炉真空系统 |
| 预算金额： | 60.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | |
| 采购需求概况 ： | 采购内容:直拉硅单晶炉真空系统 采购数量:1.0000套 主要功能或目标:用于半导体硅单晶生长实验中保证真空度及精确控制保护气体的流速。 需满足的要求:保证半导体级硅单晶炉生长工艺要求，真空泵需要保证足够的抽气速率及泄漏率，能匹配现有晶体生长平台及操作系统 |
| 预计采购时间： | 2026-03 |
| 备注： | 无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。