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zycgr210708012022年10月政府采购意向-电感耦合等离子体刻蚀机 详细情况
2022年09月01日 11:29 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 电感耦合等离子体刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210708012022年10月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21070801 |
| 采购项目名称： | 电感耦合等离子体刻蚀机 |
| 预算金额： | 295.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A033499其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | ①兼容6英寸及以下SiC，GaN刻蚀；
②刻蚀深度0um-4um；
③硬掩模刻蚀侧壁角度接近90°，且侧壁光滑；④刻蚀深度片内片间均匀性±5%；
⑤光刻胶做掩膜有较高刻蚀选择比，横向刻蚀控制较好；
⑥刻蚀后表面聚合物较少，表面较为干净；
⑦是否有刻蚀终点检测系统，是否有腔体检测系统；
⑧ICP电源频率13.5MHz,功率不低于1KW，Bias电源频率12.5MHz，功率，不低于600W；
⑨基板具有调温功能，温度控制范围-20℃-300℃；
⑩工艺气体涵盖SF6、CF4、O2、Ar、Cl2、BCl3等。 |
| 预计采购时间： | 2022-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。