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中山大学2022年11至12月政府采购意向-电子与信息工程学院晶圆级二维原子晶体材料MOCVD生长系统采购项目 详细情况
2022年10月13日 10:55 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 电子与信息工程学院晶圆级二维原子晶体材料MOCVD生长系统采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 中山大学2022年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中山大学 |
| 采购项目名称： | 电子与信息工程学院晶圆级二维原子晶体材料MOCVD生长系统采购项目 |
| 预算金额： | 312.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A032103电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 晶圆级二维原子晶体材料MOCVD生长系统1套。
技术指标参数：
1．4英寸立式电炉2套
2．石英炉管尺寸：约φ100mm 2套
3．样品加热台尺寸和材料：约φ80mm@高纯石英 2套
4．样品台转速：约20rpm
5．样品尺寸和材料：（主）2英Si/Al2O3衬底/1PCS（备）3英寸Si/Al2O3衬底/1PCS
6．喷淋头尺寸和材料：约φ80mm@高纯石英 2套
7．喷淋头与样品台间距：约10mm~50mm
8．加热方式：三区电阻加热
9．最高加热功率：12KW（6KW*2）
10．测温方式和精度：一级K型热电偶，显示精度1℃
11．均温尺寸和精度：≥φ80m长120mm, 1℃@600~1050℃
12．温度范围：RT~1050℃@衬底表面
13．最高加热速度：≥ 20℃/min
14．最高降温速率：≥ 20℃/min
15．腔体气压：5 mbar~1000mbar连续可调
16．腔体最低气压：约1Pa
17．最大允许氦检漏率：5E-10Pa？m3/s
18．最大工艺气体流量：10slm（5slm *2）
19．工艺气体H2：最大消耗流量2slm
20.工艺气体N2或Ar：最大消耗流量7slm
21．工艺气体H2S1%+Ar99%：最大消耗流量400sccm
22．工艺气体H2Se 1%+Ar99%：最大消耗流量400sccm
23．有机源瓶：2套，W源、Mo源各一套
24．有机源瓶水浴恒温器：2组有机源瓶，独立控温水浴(0-60oC)。
交付时间：合同签订或收到发货通知30天内。
售后服务要求：3年质保期，对所提供的货物在质保期内，因产品质量而导致的缺陷，必须免费提供保修、包换、包退服务。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。