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中国科学院光电技术研究所2023年3至4月政府采购意向-12英寸椭偏仪 详细情况
2023年02月21日 15:37 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 12英寸椭偏仪 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院光电技术研究所2023年3至4月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院光电技术研究所 |
| 采购项目名称： | 12英寸椭偏仪 |
| 预算金额： | 250.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100699-其他试验仪器及装置 |
| 采购需求概况 ： | 金属、介质、感光胶膜层是微纳加工工艺的基础，椭偏仪检测设备用于准确地测量各种金属、介质、感光胶纳米膜层的厚度、折射率、介电常数等参数。测量十二英寸JY上各种金属以及介质膜层的厚度，对镀膜系统的实际镀膜效果进行测量评价，保证所镀膜层厚度达到预期要求，以获得更好的曝光和刻蚀效果。 |
| 预计采购时间： | 2023-03 |
| 备注： | 无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。