当前位置：采购意向项目详情
复旦大学2024年10至12月政府采购意向-晶圆清洗机 详细情况
2024年09月25日 16:15 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 晶圆清洗机 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2024年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 晶圆清洗机 |
| 预算金额： | 500.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300 电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 功能要求：适用于4英寸、6英寸和8英寸晶圆物理单片清洗，可完成正面、背面和边缘的清洗。需要采用Nano Spray无损二流体冲洗技术，降低晶圆正面清洗损伤率。背面和边缘清洗采用刷洗技术。设备需采用单元模块化的设计，使其易于在不同的设备设置中进行快速调整和维护。 |
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。