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zycgr210708012026年7至9月政府采购意向-RTR LDI曝光机 详细情况
2026年06月16日 16:36 来源： 中国政府采购网 【打印】
| RTR LDI曝光机 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210708012026年7至9月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21070801 |
| 采购项目名称： | RTR LDI曝光机 |
| 预算金额： | 300.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 需1台，支持曝光有效范围≥1000*500mm，曝光解析度L/S≤20um，曝光均匀性≥95%，自动缩放，支持最小20μm线宽/线距加工，对位精度±20um，段间拼接精度≤8um；线宽公差±10%（显影后测量）涨缩控制在1%%以内，具备TCP接口功能，系统可连接MES |
| 预计采购时间： | 2026-07 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。