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浙江大学2022年11月政府采购意向-等离子体刻蚀机 详细情况
2022年10月25日 14:17 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 等离子体刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | 浙江大学2022年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 浙江大学 |
| 采购项目名称： | 等离子体刻蚀机 |
| 预算金额： | 280.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A033499其他专用仪器仪表 |
| 采购需求概况 ： | 名称：等离子体刻蚀机
主要功能：利用RF能量产生不同种类气体的等离子体，进而对多种材料进行干法刻蚀。可以刻蚀的材料包括金属（如铝、金、铬等）、半导体（硅、石墨烯、氮化硼等）以及各种氧化物介质层等（如氧化铝、二氧化硅等）。
采购数量：1套
质量：满足国家相关质量标准或原产地质量标准。
服务及时限：对相关的技术问题能在48小时内及时进行响应，并通过电话、传真、邮件等形式及时进行指导加以排除；若通过电话、传真、邮件等在5个工作日内仍不能解决问题：简单问题供方国内工程师3个工作日上门检修，复杂问题供方国外工程师3-6周内上门检修。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | 无 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。