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大连理工大学2022年11月政府采购意向-痕量金属离子检测装置 详细情况

2022年11月14日 22:21 来源: 中国政府采购网 打印

痕量金属离子检测装置
项目所在采购意向: 大连理工大学2022年11月政府采购意向
采购单位: 大连理工大学
采购项目名称: 痕量金属离子检测装置
预算金额: 305.000000万元(人民币)
采购品目:
A02100407质谱仪
采购需求概况 :
痕量金属离子检测装置,1台,项目拟采该设备用于光刻胶研究和制备过程中的金属杂质纯度的监控。光刻胶中的金属杂质可能导致最终半导体器件的电气性能和可靠性下降,故光刻胶的研究和制备过程中涉及的前处理设备、检测用的超纯水以及痕量金属离子检测装置需具备精确测定纳克/升(ng/L,ppt)甚至更低浓度元素含量的能力。
预计采购时间: 2022-11
备注:

本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排,具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。