A02100303物理光学仪器

显微镜1台，该设备用于观测物体的微观形貌，如微加工工艺制造的光电器件的微观形貌特征。 主要技术要求： 1、光学系统：复消色差校正光学系统 2、观察方式：明场、暗场、偏光、微分干涉，紫外光，电动切换，软件自动识别。 3、照明方式：内置双光源照明，白光和UV光源，电动切换，自动识别。 4、电动控制观察方式切换、电动照明，可实现自动照明管理。 5、目镜：10倍。 6、物镜：平场半复消色差物镜，5X/数值孔径≥0.15，10X/数值孔径≥0.30，20X/数值孔径≥0.45，50X/数值孔径≥0.80，100X/数值孔径≥0.90，150X/数值孔径≥0.90。 7、观察镜筒：人体工程学正像三目镜筒。 8、载物台：≥202×202mm有效移动行程，可适配最大8寸晶圆。 9、调焦系统：手动粗调/细调Z轴调焦系统，人体工学设计，可设定调焦机构位置至手腕舒适位置。 10、物镜转盘至少6孔，电动物镜换镜，软件自动识别物镜倍率，具有物镜自动转换和手动转换功能。 11、摄像系统：彩色数码摄像头，有效像素≥2000万，芯片靶面≥1/1.2”，增益≥10X,曝光时间≥10S，USB3.0接口。 软件及其功能： 显微镜原厂图像软件，软件能控制显微镜所有操作，涵盖常规几何测量功能，包括长度、角度、圆弧、三角形、矩形、方形、不规则图形等；图像采集、图像处理、倍率切换自动识别、比例尺自动加载，活图景深扩展。可控制及显示包括物镜倍率，观察方法，光强，孔径光阑，视场光阑；具有景深扩展功能。 交付时间：12个月内； 交付地点：广州市大学城外环东路132号 中山大学东校院。