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zycgr210708012022年12月政府采购意向-磁控溅射镀膜机 详细情况
2022年09月01日 11:29 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 磁控溅射镀膜机 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210708012022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21070801 |
| 采购项目名称： | 磁控溅射镀膜机 |
| 预算金额： | 198.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100305电子光学及离子光学仪器 |
| 采购需求概况 ： | 该设备主要用于沉积硅基半导体量子芯片的金属栅电极薄膜，需要达到以下条件：
1、真空度达到10^-7Pa量级；
2、全自动控制；load-lock/预真空室；
3、配备等离子刻蚀腔及功能；
4、4英寸基片上批内和批间沉积均匀性优于3%，中心区域优于1%。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。