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北京理工大学2022年11至12月政府采购意向-高真空多功能薄膜联合制备系统 详细情况
2022年10月17日 13:59 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 高真空多功能薄膜联合制备系统 | |
| 项目所在采购意向： | 北京理工大学2022年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 北京理工大学 |
| 采购项目名称： | 高真空多功能薄膜联合制备系统 |
| 预算金额： | 150.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02052402真空应用设备 |
| 采购需求概况 ： | 采购标为高真空条件下制备低维纳米薄膜联合制备系统1台，需要实现高质量金属薄膜、氧化物薄膜、半导体薄膜以及新型二维材料薄膜等多种薄膜的高质量均匀沉积功能；需要实现极限真空度优于5x10-7torr，6英寸基片的薄膜均匀性≤±5%。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。