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中国科学院上海技术物理研究所2025年10至12月政府采购意向-超表面等离激元金属材料沉积生长设备 详细情况
2025年10月17日 18:36 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 超表面等离激元金属材料沉积生长设备 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院上海技术物理研究所2025年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院上海技术物理研究所 |
| 采购项目名称： | 超表面等离激元金属材料沉积生长设备 |
| 预算金额： | 230.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02209900其他航空航天工业设备 |
| 采购需求概况 ： | 1）基片尺寸：8英寸以下兼容；
2）坩埚位置：6个；
3）电子枪最高烘烤温度: >=80℃；
4）薄膜均匀性: ±3.5%；
5）最小成膜厚度：≤10nm,Cu镀膜速率：0.1A/s-10A/s； |
| 预计采购时间： | 2025-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。