A02112000电话、电声测试仪器,A02100503工艺试验机,A02120499其他电磁学计量标准器具,A02061803通风机,A02052503过滤机

采购项目名称：西南交通大学“大交通”基础研究分析测试共享平台第（7）批（大功率半导体器件工艺子平台）采购。主要采购内容：通风过滤设备（4台套）、清洗操作台（1台套）、双面光刻机（2台套）、晶圆工艺转运机（1台套）、晶圆精校对准台（1台套）、晶圆氧化扩散炉（1台套）、磁控溅射仪（1台套）、自动旋涂机（1台套）、功率器件动静态参数测试仪（4台套）、陶瓷薄膜制备平台（1台套）、介电测试平台（2台套）。质量要求：满足功率器件工艺与制造相关教学与科研要求。最晚交货时间预计在2025年11月。设备应具备优良的技术性能和稳定性，满足国家或行业标准，符合节能环保要求。供应商需提供完善的售后保障，包括及时的维修响应、技术支持和操作培训。设备应符合国家安全和环保标准，具备必要的防护功能，确保人员和环境安全。安装完成后，供应商应提供现场培训，确保操作人员熟练掌握设备使用方法。