当前位置：采购意向项目详情
复旦大学2023年11月政府采购意向-膜厚仪2 详细情况
2023年10月24日 10:46 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 膜厚仪2 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2023年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 膜厚仪2 |
| 预算金额： | 200.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300 电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 拟采购2种膜厚仪各1台，第一台设备采用3D光学原理对精密器件及材料表面进行最小可达亚纳米级的厚度测量，其以白光干涉技术为原理，结合精密Z向扫描模块、3D建模算法等对器件表面进行非接触式扫描并建立表面3D图像，通过系统软件对器件表面3D图像进行数据处理与分析等。第二种膜厚仪可以测量的膜层厚度范围宽泛，最薄可以到10nm，最厚可达2mm，测量性能很好，核心部件具有不同波段的光学系统。 |
| 预计采购时间： | 2023-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。