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北京理工大学2022年11至12月政府采购意向-高精度3D微纳结构阵列制备系统 详细情况
2022年10月17日 13:59 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 高精度3D微纳结构阵列制备系统 | |
| 项目所在采购意向： | 北京理工大学2022年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 北京理工大学 |
| 采购项目名称： | 高精度3D微纳结构阵列制备系统 |
| 预算金额： | 430.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A032103电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 光源：390nm/365 LED light source
分辨率：0.6um
套刻对准精度：1um
最大曝光面积：100*100mm
最小曝光面积：10*10mm
支持灰度曝光
聚焦方式：支持光学和气聚焦
曝光速度：≥10mm2/min
软件“Frazor Top”
150热悬臂探针
面内二维最小结构尺寸≤30nm，配有3D纳米直写功能，实时垂直方向加工精度（PPA里面的台阶尺寸）：≤5nm;
使用者工具包。
手套箱:单面单工位手套箱 FG1200/750TS，一）、箱体1． 一个不锈钢箱体，尺寸为 1200mm（长）X750mm（宽）X900mm（高），材质为 SUS304； 二）、过渡舱，一个大过渡仓 1.尺寸：Φ370X600mm；一个小过渡仓，1.尺寸：Φ150X300mm；三）、气体纯化系统，气体纯化柱吸附饱和后，用含氢的氮气或氩气再生，恢复其吸附能力
用氢气/氮气混合气作为再生气。H2：5%； N2: 95%。 四）、控制系统，．控制系统由西门子的 PLC 和 7”彩色触摸屏组成，用户友好的中英文操作界面 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。