A02100305电子光学及离子光学仪器

主要功能：1.利用电子束对光刻胶进行曝光，实现精细线路的图形转移；2.具备高分辨成像及测量功能 采购数量：1 主要性能指标：1.实验室温度波动在±0.5℃的情况下，电子束流可长时间稳定，任意八小时内测量束流稳定性≤0.5%，且每小时的电子束位置稳定性≤300nm；2.图形发生器的扫描频率不低于20MHz，最小停留时间不大于50ns，最小停留时间增量不大于1ns；3.电子束曝光最小线宽≤ 8nm，可制备周期≤40nm，线宽≤20nm的光栅；4.单写场套刻精度≤50nm(|mean|+3·sigma)；5.基于Windows操作系统的全自动控制软件包Nanosuite，集成GDSII编辑器；6.写场大小可在0.5um - 2mm的范围内任意设定，且连续可调，写场可进行旋转、正交、缩放修正，该修正可通过手动或自动方式实现；7.写场数字寻址的最大分辨率不低于16bit，最小步距增量不大于0.1 nm