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zycgr210708012026年7至9月政府采购意向-多功能磁控溅射复合镀膜线 详细情况
2026年06月16日 16:36 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 多功能磁控溅射复合镀膜线 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr210708012026年7至9月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr21070801 |
| 采购项目名称： | 多功能磁控溅射复合镀膜线 |
| 预算金额： | 536.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 需1套，（1）要求支持聚酰亚胺薄膜宽幅≥500mm，支持单点或者多点移动选镀； （2）沉积精度：0.1nm； （3）溅射不均匀性≤±3%； （4）主腔室本底真空优于 1×10-8mbar；涨缩控制在1%%以内，具备TCP接口功能，系统可连接MES |
| 预计采购时间： | 2026-07 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。