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zycgr240415012025年4至10月政府采购意向-远程等离子体表面处理机 详细情况
2025年04月16日 21:52 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 远程等离子体表面处理机 | |
| 项目所在采购意向： | zycgr240415012025年4至10月政府采购意向 |
| 采购单位： | zycgr24041501 |
| 采购项目名称： | 远程等离子体表面处理机 |
| 预算金额： | 450.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02062002电气物理设备 |
| 采购需求概况 ： | 1台
腔体尺寸：8英寸兼容；
工艺腔本底真空：≤0.5 mTorr；
工艺腔漏气率：≤1mTorr/min；
工艺控压范围：5-85 mTorr；
工艺腔控温范围：室温-100℃；
上射频电源功率：≥3000W；
下射频电源功率：≥1500W；
配置工艺气体：5路，包括Ar,O2，He,N2，SF6, Cl2 ；
分子泵抽速：≥2000L/s |
| 预计采购时间： | 2025-09 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。