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中国科学院大学2023年1至11月政府采购意向-物理学院无掩模直写光刻系统设备采购项目 详细情况
2023年02月02日 13:06 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 物理学院无掩模直写光刻系统设备采购项目 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院大学2023年1至11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院大学 |
| 采购项目名称： | 物理学院无掩模直写光刻系统设备采购项目 |
| 预算金额： | 140.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | 激光仪器 |
| 采购需求概况 ： | 采用无掩模激光直写方式工作；最大曝光面积：195mm x 195mm；光源波长：385nm；分辨率：0.6μm；直写速度：20mm2/分钟（0.6μm分辨率时）；套刻精度：±0.5μm。 |
| 预计采购时间： | 2023-09 |
| 备注： | 真空物理研究团队培育 |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。