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浙江大学2024年11月政府采购意向-晶圆清洗机 详细情况
2024年10月27日 19:50 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 晶圆清洗机 | |
| 项目所在采购意向： | 浙江大学2024年11月政府采购意向 |
| 采购单位： | 浙江大学 |
| 采购项目名称： | 晶圆清洗机 |
| 预算金额： | 236.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330303-电子工业生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 采购标的名称：晶圆清洗机
采购标的需实现的主要功能或者目标：提供晶圆键合前晶圆的清洗
采购标的数量：1台
采购标的需满足的质量：
1、晶圆规格：8寸和4英寸
2、片盒规格：标准8寸晶圆片盒和标准4英寸晶圆片盒
3、每台工艺腔数量：1套（喷液，喷兆声水）
4、每台传输机械臂：1套，折臂式机械臂
5、每台设备支持溶液种类：2种溶液，常温兆声DI水
6、主轴旋转速度：50rpm～ 3000rpm，±2 rpm。
7、主轴旋转速度：50rpm～ 3000rpm，±2 rpm。
8、氮气温度：常温，N2过滤精度0.003μm。
9、设备可靠性：MTBF≥1000片；MTTR≤4Hr；运行时间≥90%;破片率≤1/20000
售后服务：电话支持:7x8小时;质保期:1年;服务时限:报修后24小时;商品承诺:原厂全新未拆封正品;
时限：签约后150天内到货 |
| 预计采购时间： | 2024-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。