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华中科技大学2025年8至10月政府采购意向-SOM的12寸线上工艺开发及流片服务 详细情况
2025年06月28日 17:38 来源： 中国政府采购网 【打印】
| SOM的12寸线上工艺开发及流片服务 | |
| 项目所在采购意向： | 华中科技大学2025年8至10月政府采购意向 |
| 采购单位： | 华中科技大学 |
| 采购项目名称： | SOM的12寸线上工艺开发及流片服务 |
| 预算金额： | 347.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | C01031300电子、通信与自动控制技术研究服务 |
| 采购需求概况 ： | 阶段1：材料1靶材准备及薄膜工艺调试，包括薄膜测试和组分结构；mat char FO样片制备，完成电学测试，包括薄膜组分、形貌、黏附性等，单元擦写时延、阈值窗口、擦写次数等mat char测试数据；
阶段2：材料2靶材准备及薄膜工艺调试，包括薄膜测试和组分结构；mat char FO样片制备，完成电学测试，包括薄膜组分、形貌、黏附性等，单元擦写时延、阈值窗口、擦写次数等mat char测试数据；
阶段3：进行结构工艺调试，包括WL和BL调试，刻蚀形貌/包裹等需进行TEM切片表征，实现20nm特征尺寸的工艺流程；
阶段4：4片FL的12寸晶圆流片；测试并统计数据。 |
| 预计采购时间： | 2025-09 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。