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同济大学2022年10至12月政府采购意向-电子束光刻机 详细情况
2022年10月25日 20:43 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 电子束光刻机 | |
| 项目所在采购意向： | 同济大学2022年10至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 同济大学 |
| 采购项目名称： | 电子束光刻机 |
| 预算金额： | 3500.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A9999其他不另分类的物品 |
| 采购需求概况 ： | 最小线宽小于10纳米，套刻精度小于30nm，大面积拼接精度小于30nm，支持曲面衬底曝光，支持8英寸晶圆，支持10mm厚度及以上衬底。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。