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清华大学2025年3至4月政府采购意向-超高真空物理气相沉积系统 详细情况
2025年01月16日 10:40 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 超高真空物理气相沉积系统 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2025年3至4月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 超高真空物理气相沉积系统 |
| 预算金额： | 250.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A-货物_A02000000-设备_A02050000-机械设备_A02052400-真空获得及应用设备_A02052402-真空应用设备 |
| 采购需求概况 ： | 在超高真空条件下，利用高速运动的氩离子轰击靶材，形成靶材成分的等离子体并沉积到靶材上方的衬底上，并进行原位真空退火等操作，完成超高真空镀膜。基础真空<10-10Torr，六个靶位，可进行8英寸、6英寸、4英寸、2英寸圆形衬底的直流和射频溅射，单个靶位可溅射功率直流不小于300W、射频不小于100W。 |
| 预计采购时间： | 2025-03 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。