A02100407-质谱仪

（一）采购标的名称：双束电镜与二次离子质谱仪连用系统 （二）采购标的需实现的主要功能或者目标 双束电镜与二次离子质谱仪连用系统，是近年来出现的一种先进的可以检测轻元素的集成化材料样品微区化学元素分析设备。二次离子质谱 (Secondary Ion Mass Spectrometry，SIMS) 是一种材料表面化学分析技术，它依赖于收集和分离从材料表面产生的二次离子， 根据检测到的离子的质荷比 (m/z)而给出材料表面成分信息。在双束电镜的基础上，配备飞行时间二次离子质谱（TOF-SIMS），在电镜中引入更多的分析手段，能够尽可能的进行一次性的、全面的、原位的综合性分析，对科研工作者来说将会获得更多的对有意义的重要信息。超高分辨SEM电子枪可以进行高分辨图像的观测，同时为EDS和EBSD提供电子源；FIB为聚焦离子束显微镜，主要用于对样品进行微纳尺度加工和刻蚀；同时搭载TOF SIMS可以对样品执行微区质谱分析，可以对痕量元素以及轻元素进行检测分析。 （三）采购标的数量： 1套 （四）采购标的需满足的质量、服务、安全、时限等要求 需保证设备安全稳定运行，配备良好的售后服务。