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中国科学院上海硅酸盐研究所2025年2至12月政府采购意向-多功能精密退火装备 详细情况
2025年02月24日 08:48 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 多功能精密退火装备 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院上海硅酸盐研究所2025年2至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 采购项目名称： | 多功能精密退火装备 |
| 预算金额： | 198.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02062001工业电热设备（电炉） |
| 采购需求概况 ： | 1.最高温度：1600℃，多温区控温精度：±0.2℃；
2.真空腔体：≥1.5m，冷态真空度：优于1×10-3Pa；
3.温度非均匀性：±1℃/cm；
4.工作区：≥Φ500mm×500mm；
5.多气氛CF4、Ar流量控制，尾气处理 |
| 预计采购时间： | 2025-03 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。