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清华大学2023年10月政府采购意向-氧化硅/氮化硅刻蚀机 详细情况
2023年07月08日 12:14 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 氧化硅/氮化硅刻蚀机 | |
| 项目所在采购意向： | 清华大学2023年10月政府采购意向 |
| 采购单位： | 清华大学 |
| 采购项目名称： | 氧化硅/氮化硅刻蚀机 |
| 预算金额： | 700.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100899其他量仪 |
| 采购需求概况 ： | 反应离子刻蚀SiN和SiO2,8英寸晶圆，目标线宽130nm，片内均匀性小于2%。 |
| 预计采购时间： | 2023-10 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。