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南京大学2022年11至12月政府采购意向-磁控溅射 详细情况
2022年10月18日 16:46 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 磁控溅射 | |
| 项目所在采购意向： | 南京大学2022年11至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 南京大学 |
| 采购项目名称： | 磁控溅射 |
| 预算金额： | 580.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02052402 真空应用设备 |
| 采购需求概况 ： | 采购磁控溅射一台，参数性能满足：真空度1E-9torr，6个2寸或4寸靶，至少2个射频源，600W射频源，1000W DC源，不小于150mm衬底托盘带旋转加热冷却，不低于100WDC偏执，有loadlock，可通载气或保护气体（Ar，N2，O2等），样品台温度800℃；服务要求：可提供技术支持和售后服务，设备质保期12个月。 |
| 预计采购时间： | 2022-11 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。