当前位置：采购意向项目详情
中国科学院半导体研究所2023年12月政府采购意向-半导体材料先进等离子体刻蚀设备 详细情况
2023年12月12日 16:47 来源： 中国政府采购网 【打印】
| 半导体材料先进等离子体刻蚀设备 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院半导体研究所2023年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院半导体研究所 |
| 采购项目名称： | 半导体材料先进等离子体刻蚀设备 |
| 预算金额： | 880.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02330300-电子工业专用生产设备 |
| 采购需求概况 ： | 设备主要用于低传输损耗，低应力掺杂二氧化硅材料、氮化硅、氮氧化硅材料的刻蚀工艺，可用于光分路器芯片、波分服用/解复用芯片等无源光波导芯片的材料刻蚀。 |
| 预计采购时间： | 2023-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。